Abstract ：

　　本文利用干涉光刻技术结合金胶体溶液法1,实现了大面积双层垂直堆叠金纳米线光栅波导结构的制备,并将该结构应用于等离激元超快光学开关.如图(a)所示,金属光栅的周期为400 nm,上下层金纳米线间的距离约为14 nm.在偏振光入射的情况下,上层光栅由于衍射作用而产生瑞利反常现象,下层光栅由于衍射作用而激发了波导共振模式,上下两层金纳米线间相互靠近而产生新的等离激元共振模式,即交叉等离激元.

Keyword ：

等离激元 Fano共振 超快光学开关

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　　将高分子有机半导体材料poly(9,9-dioctylfluorenyl-2,7-diyl)-alt-co-(1,4-benzo-{2,1'',3}-thiadiazole)(F8BT)旋涂在利用干涉光刻制备的光刻胶光栅的表面,制备了基于DFB微腔的薄膜激光器。利用飞秒激光泵浦探测技术,以400 nm泵浦光激发有机半导体材料F8BT,以超连续白光作为探测光,亦即注入锁定放大的种子光,研究了有机半导体薄膜DFB激光器对注入光脉冲的锁定放大特性及其对光的偏振态和注入角度的依赖关系。图1给出了不同偏振光(TE和TM偏振)脉冲注入情况下锁定放大的动态过程。图2给出了改变注入光入射角情况,注入锁定放大光谱的调谐特性。实验结果从多方面验证了DFB薄膜激光器对注入光脉冲的注入锁定放大特性。

Keyword ：

角度调谐 注入锁定 DFB激光器 有机半导体 飞秒激光泵浦探测 偏振特性

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　　本文制备了波导层/隔离层/波导层的三明治结构的DFB激光器，实现了DFB激光的双波长发射。首先通过干涉光刻法[1]在玻璃基底上制备光栅，随后通过旋涂法，依次旋涂F8BT二甲苯溶液、PVA水溶液、F8BT二甲苯溶液，待溶剂挥发后，得到有机聚合物薄膜/PVA薄膜/有机聚合物薄膜的三明治结构DFB激光器件。聚合物F8BT薄膜和PVA薄膜分别作为波导层和隔离层。

Keyword ：

聚合物激光器 多波长 波导

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　　分布反馈(distributed feedback grating,简称DFB)激光器具有轻、薄等优点,在传感和显示应用方面展现了巨大的应用潜力。本文通过干涉光刻的方法制备了一维和二维光栅结构；采用旋涂法和水剥离技术,制备了聚合物F8BT薄膜[1],并将该聚合物薄膜直接粘附在一维或二维分布式反馈光栅表面,得到聚合物悬浮膜DFB激光器。

Keyword ：

薄膜装置及应用 聚合物波导 分布式反馈激光器

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　　利用干涉光刻结合真空蒸镀技术制备了有效面积为平方厘米量级的金属铝光栅结构。在该结构的反射光谱中观察到了光栅衍射的反常模式与铝纳米线中局域表面等离激元的类-FANO 共振耦合效应，研究了共振模式的角度调谐特性。利用该FANO 共振模式对环境介质折射率变化的高灵敏度响应特性，进行了折射率传感实验。优化了器件的结构参数和入射光的角度。验证了传感器性能的高重复性和高稳定性。

Keyword ：

等离散射 FANO共振 折射率传感器 瑞利反常 等离共振

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　　利用紫外激光还原银离子并结合干涉光刻技术，实现了金属光子晶体的制备。以干涉光刻制备的光刻胶光栅为模板，将聚乙烯吡咯烷酮与银离子水溶液旋涂于光刻胶模板上。由于光栅的限制作用，银离子被局限于光栅凹槽中。通过紫外光与银离子间的光还原反应，将银离子还原成纳米银颗粒。

Keyword ：

银离子 光还原 金属光子晶体

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　　利用光纤实现光的分束和传输，构建了柔性干涉光刻系统。引入半波片用于控制光的偏振方向。以三光束干涉光刻为对象，研究了改变光的偏振方向对于干涉图案的影响。通过理论模拟与实验结果的对比，验证了在不同位置调制光的偏振方向可以优化干涉图案的对比度和制备不同形貌的纳米光子结构。

Keyword ：

光纤 偏振方向 纳米光子结构 干涉图案 柔性干涉光刻

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利用双光束干涉,在光敏材料上制作光子晶体结构.通过改变两束光之间的夹角可以改变制备样品的周期.改变曝光次数以及两次曝光时干涉条纹的夹角可以分别得到一维、二维正方晶格以及二维三角晶格结构的光子晶体.

Keyword ：

干涉光刻 双光束干涉 光子晶体制作

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利用激光干涉光刻和金纳米颗粒胶体溶液制备了宽度在100nm以下且总面积达到平方厘米量级的金纳米线光栅结构.制备过程中,首先在表面镀有厚度约为200nm的铟锡氧化物薄膜的面积为1cm×1cm的玻璃基片表面旋涂光刻胶,然后利用紫外激光干涉光刻制备光刻胶纳米光栅结构.有效控制干涉光刻过程中的曝光量、显影时间,获得小占空比的光刻胶光栅.再以光刻胶纳米光栅作为模板,旋涂金纳米颗粒胶体溶液.充分利用金纳米颗粒胶体溶液在光刻胶表面浸润性差的特点,限制旋涂后留存在光刻胶光栅槽中金纳米颗粒的数量,从而达到限制金纳米线宽度的目的.最后在250℃将样品进行退火处理5min.获得了周期为400nm且占空比小于1:4的...

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粒子等离子共振模式 角分辨调谐特性 金纳米颗粒胶体 波导耦合金属光子晶体 干涉光刻

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光纤耦合波导光栅传感器，属于纳米生物传感器器件技术领域。光纤耦合波导光栅传感器，其在光纤的端面处镀有介质波导层，在介质波导层上制有光刻胶光栅，介质波导层与光刻胶光栅形成波导光栅结构位于光纤端面上。通过利用紫外激光干涉光刻方法在光纤端面的波导层上制备光栅纳米光学结构，获得一种新型光纤耦合波导光栅传感器器件。该传感器件为探针式光纤传感器件，可实现远程、实时传感检测。该传感器件具有体积小、携带方便、抗干扰能力强等诸多优势，可适用于检测空间狭小，被检测物难以接近、检测环境高温高压、有毒有害等极端情况下的传感检测，可以实现对不透明样品的传感检测。

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