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针对现有材料表面镀膜装置缺乏表面质量监控和反馈系统,研制出一套基于激光微悬臂梁的纳米薄膜生长厚度检测系统。该平台由微悬臂梁、激光发射单元、压电陶瓷单元、光电探测器单元、伺服电机和人机界面组成。将检测结果反馈给镀膜系统,及时调整镀膜工艺参数,实现快速表征、精准镀膜。实验表明:该纳米薄膜生长厚度检测平台能够在镀膜过程中实时监控薄膜厚度,精度可达±3 nm。
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Source ：
电子显微学报
Year： 2020
Issue： 02
Volume： 39
Page： 106-111
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