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米庆改 (米庆改.) | 王旭葆 (王旭葆.) | 肖荣诗 (肖荣诗.)

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针对2750 W直接大功率半导体激光堆栈输出的矩形光斑,设计了一种长焦距光学系统用于激光材料加工.首先,对整形光路进行了理论分析,利用倒置开普勒望远系统原理对慢轴光束进行扩束和准直,再利用聚焦镜实现快慢轴同步聚焦.推导出了快慢轴聚焦光斑大小的公式并计算出焦深理论值,分析了聚焦光斑大小的影响因素.接着,用ZEMAX软件模拟了LD stack光源和整个光学系统并进行了光线追迹,得到了模拟的光束变化形式及聚焦光斑尺寸.最后,进行相应的实验验证,实现了1.5 mm×4.0 mm的焦点光斑,焦距250 mm,焦深18.6 mm.讨论了整个聚焦光学系统性能的优缺点以及今后的改进方向.这种聚焦方法可以得到长焦距高功率密度聚焦光斑,满足激光熔覆、表面处理等工艺对光源的要求.

Keyword:

光束整形 ZEMAX 半导体激光堆栈 光束聚焦

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  • [ 1 ] [米庆改]北京工业大学
  • [ 2 ] [王旭葆]北京工业大学
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Source :

发光学报

ISSN: 1000-7032

Year: 2018

Issue: 8

Volume: 39

Page: 1107-1114

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