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边晓微 (边晓微.) | 陈檬 (陈檬.) | 李港 (李港.) (Scholars:李港)

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CQVIP PKU CSCD

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利用波长355 nm的纳秒激光和1064 nm的皮秒激光对蓝宝石基片进行刻槽及切割实验,通过控制变量法研究了微槽深度、宽度及质量随工艺参数变化的情况,并进行对比分析.结果表明,355 nm纳秒激光加工过程存在很大的热作用,而且刻蚀效率低,即使其峰值功率密度达到109 W/cm2也不能实现对蓝宝石毛坯片的图形切割;而1064 nm皮秒红外激光切割微槽的质量很高,几乎可实现完全的“冷加工”.最后,通过分析总结,认为激光峰值功率密度达到1012 W/cm2可实现对蓝宝石基片的图形切割,且利用平均功率1W、单脉冲能量1 mJ、脉宽15 ps的1064 nm红外激光,实现了0.55 mm厚蓝宝石毛坯基片的高质量图形切割.

Keyword:

蓝宝石基片 激光技术 纳秒紫外激光 图形切割 皮秒红外激光 微槽加工

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  • [ 1 ] [边晓微]北京工业大学
  • [ 2 ] [陈檬]北京工业大学
  • [ 3 ] [李港]北京工业大学

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Source :

激光与光电子学进展

ISSN: 1006-4125

Year: 2016

Issue: 5

Volume: 53

Page: 240-246

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