Abstract：
TiO2具有高的折射率、低的吸收系数等特点，镀膜时真空腔体温度与离子源功率等因素对TiO2薄膜折射率分布规律有很大影响，本文用电子束蒸发法制备TiO2薄膜，并系统的探讨了蒸镀温度、离子源参数两个工艺参数对TiO2薄膜折射率波动方面的影响，得出一组蒸镀工艺参数，使TiO2折射率最高达到2．57。
Keyword：
Reprint Author's Address：
Email：
Source ：
农家科技（下旬刊）
ISSN： 1003-6989
Year： 2015
Issue： 3
Page： 210-210
Cited Count：
WoS CC Cited Count： 0
SCOPUS Cited Count：
ESI Highly Cited Papers on the List： 0 Unfold All
WanFang Cited Count： 1
Chinese Cited Count：
30 Days PV： 4
Affiliated Colleges：
