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陈代谢 (陈代谢.) | 初明璋 (初明璋.) | 林云生 (林云生.) | 韩立 (韩立.) | 张跃飞 (张跃飞.) (Scholars:张跃飞) | 毛圣成 (毛圣成.) (Scholars:毛圣成)

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Abstract:

针对现有微拉伸台系统误差较大的问题,作者研究了提高微拉伸台测量精度的数据处理方法.设计了高速、高精度数据采集系统,对比了线性拟合、多项式拟合、分段拟合和逐点比较数据处理方法,分析了各种数据处理方法在消除系统误差中的优缺点.数据处理方法采用VC++语言编程实现,可以在线矫正系统误差.实验结果表明,灵活运用上述处理方法可以有效地提高微拉伸台测量精度.

Keyword:

高精度 数据处理 误差矫正 微拉伸台

Author Community:

  • [ 1 ] 中国科学院研究生院
  • [ 2 ] 中国科学院电工研究所微纳加工研究部
  • [ 3 ] 北京工业大学固体微结构与性能研究所

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Source :

北京工业大学学报

Year: 2011

Issue: 08

Volume: 37

Page: 1205-1211

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