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采用射频磁控溅射方法,在石英衬底上制备Mg掺杂的CuCrO2 薄膜.通过XRD、紫外吸收光谱及电学性能的测量表征该系列薄膜样品的结构与光电性能.结果表明:退火处理后所有薄膜样品的结晶性良好,均为3R型铜铁矿结构;薄膜的电导率随掺杂量的增加而增大.当x=0.09时,样品的室温电导率可达6.16×10-2 S/cm,比未掺杂的CuCrO2提高近400倍,且霍耳测试表明所制备的薄膜为p型导电体.电导率随温度变化关系表明:薄膜样品在200～300 K的温度范围内均很好地符合Arrhenius热激活规律;当x=0.09时,最低激活能仅为0.034 eV.薄膜的可见光透过率与光学带隙宽度均随掺杂量的增加而减小.
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中国有色金属学报
ISSN： 1004-0609
Year： 2010
Issue： 5
Volume： 20
Page： 898-902
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