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何东 (何东.) | 索红莉 (索红莉.) (Scholars:索红莉) | 赵跃 (赵跃.) | 刘敏 (刘敏.) | 张迎肖 (张迎肖.) | 叶帅 (叶帅.) | 马灵姬 (马灵姬.) | 周美玲 (周美玲.)

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Abstract:

La2zr2O7(LZO)过渡层以其独特的物理化学性质越来越受到人们的关注.本文以乙酰丙酮镧和乙酰丙酮锆为前驱盐,丙酸为溶剂配置前驱液,用化学溶液方法(CSD)在具有立方织构的Ni-5at%W基底上制备了LZO过渡层薄膜.研究了前驱液成分、性质以及退火温度对LZO成相以及取向的影响.用常规XRD和X射线四环衍射仪分析了LZO薄膜的相成分和织构.结果显示,在1050℃下退火可以获得强立方织构的LZO薄膜,其中(222)峰的Phi扫描半高宽值为8.95;(400)峰的chi扫描半高宽值为6.8用高分辨扫描电子显微镜(FE-SEM)观察到LZO薄膜表面均匀致密,没有裂纹和空洞.

Keyword:

LZO薄膜 涂层导体 过渡层 化学溶液方法 立方织构

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Source :

人工晶体学报

ISSN: 1000-985X

Year: 2007

Issue: 6

Volume: 36

Page: 1297-1300,1287

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