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宇慧平 (宇慧平.) | 隋允康 (隋允康.) | 王敬 (王敬.) | 安国平 (安国平.)

Indexed by:

PKU CSCD

Abstract:

在直拉单晶硅生长的过程中,自然对流对晶体界面的形状、温度场及应力分布影响很大。本文采用二维模型对熔体内自然对流对单晶硅的影响作了数值模拟,在低雷诺数时采用层流模型,高雷诺数时采用紊流模型,Gr的变化范围从3×106到3×1010,这样涵盖了从小尺寸到大尺寸的直拉单晶硅生长系统。数值结果表明熔体的流动状态不仅与熔体的Gr有关,还与熔体高度和坩埚半径的比值密切相关。当Gr>108时,熔体内确实存在紊流现象,层流模型不再适合,随着Gr的增大,紊流现象加剧,轴心处的等温线变得更为陡峭,不利于晶体生长。

Keyword:

自然对流 直拉单晶硅 数值模拟

Author Community:

  • [ 1 ] 北京工业大学机电学院
  • [ 2 ] 北京有色金属研究总院
  • [ 3 ] 北京工业大学机电学院 北京100022
  • [ 4 ] 北京100022
  • [ 5 ] 北京100088

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Source :

人工晶体学报

Year: 2006

Issue: 04

Page: 696-701,695

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