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设计了低电阻的渐变型分布布拉格反射器(DBR)结构,模拟分析了采用渐变p-DBR结构对价带能带的影响,并详细讨论了渐变形状、渐变区宽度、掺杂浓度等参数对低电阻渐变DBR结构的价带势垒的影响.利用MOCVD技术制备了实验样品,模拟结果与实验数据基本吻合.
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半导体技术
ISSN： 1003-353X
Year： 2005
Issue： 6
Volume： 30
Page： 56-59
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