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介绍一种微电磁继电器的结构和工作原理.应用ANSYS软件对这种微继电器的蟹脚型悬臂梁进行静力学和动力学性能分析,得到结构参数对其机械性能影响的关系曲线,初步确定该结构的模型.仿真结果表明,在工况相同的情况下,它的最大位移量随梁厚、梁宽的增大而减小,随梁胫、梁股的增大而增大,一阶模态频率随这些参数的变化正好相反.此法也适于对其它类型悬臂梁的分析.
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Source ：
微细加工技术
ISSN： 1003-8213
Year： 2004
Issue： 3
Page： 50-54
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