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高卓 (高卓.) | 胡跃辉 (胡跃辉.) | 朱秀红 (朱秀红.) | 马占杰 (马占杰.) | 周怀恩 (周怀恩.) | 陈光华 (陈光华.)

Indexed by：

CQVIP PKU CSCD

Abstract：

通过对热丝辅助微波电子回旋共振(HW-MW-ECRCVD)法制备的氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜进行暗电导与温度关系的测试,可得到暗电导激活能(Ea),并研究了Ea与a-Si:H薄膜光敏性(σph/σ　d)的关系;发现随着Ea的增大,费米能级位置下移,缺陷态密度减少,薄膜的光敏性变好.

Keyword：

光敏性 氢化非晶硅薄膜 暗电导激活能

Author Community：

  • [ 1 ] [高卓]北京工业大学
  • [ 2 ] [胡跃辉]北京工业大学
  • [ 3 ] [朱秀红]北京工业大学
  • [ 4 ] [马占杰]北京工业大学
  • [ 5 ] [周怀恩]北京工业大学
  • [ 6 ] [陈光华]北京工业大学

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功能材料

ISSN： 1001-9731

Year： 2004

Issue： z1

Volume： 35

Page： 432-433

Cited Count：

WoS CC Cited Count： 0

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ESI Highly Cited Papers on the List： 0 Unfold All

WanFang Cited Count： 2

Chinese Cited Count：

30 Days PV： 6

Affiliated Colleges：

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