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孙英华 (孙英华.) | 李志国 (李志国.) | 苗城 (苗城.) | 程尧海 (程尧海.) | 张万荣 (张万荣.) | 强桂华 (强桂华.) | 穆杰 (穆杰.)

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CQVIP PKU CSCD

Abstract:

结合器件具体结构和工艺,在回流效应理论和实验研究的基础上优化设计了回流加固结构。建立了一套自动测试系统,对回流加固结构样管进行了电热加速应力试验,考核了不同结构的加固效果及抗热电迁徙性能,优选了最佳回流结构。

Keyword:

金属化布线 回流效应 电徙动

Author Community:

  • [ 1 ] 北京工业大学电子工程系 北京100022
  • [ 2 ] 北京东方电子集团东方半导体器件厂 北京100016
  • [ 3 ] 电子十三所 石家庄050002

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Source :

半导体技术

Year: 2000

Issue: 04

Page: 47-50

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