Abstract：
利用光纤实现光的分束和传输，构建了柔性干涉光刻系统。引入半波片用于控制光的偏振方向。以三光束干涉光刻为对象，研究了改变光的偏振方向对于干涉图案的影响。通过理论模拟与实验结果的对比，验证了在不同位置调制光的偏振方向可以优化干涉图案的对比度和制备不同形貌的纳米光子结构。
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Year： 2015
Page： 481-481
Language： Chinese
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