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研究了不同衬底温度下Ｃ６０膜的热壁外延生长特性．Ｘ射线衍射结果表明，当衬底温度高于１６０℃时，在氟金云母（００１）面上外延生长出完全（１１１）取向了Ｃ６０膜，此外，对薄膜结晶的完整性及晶粒尺寸的随温度的变化进行了讨论．
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Source ：
北京工业大学学报
Year： 1998
Issue： 01
Page： 3-5
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