Abstract：
电子密度和电子温度是等离子体的两个重要的基本参量,对其的诊断是了解和控制反应等离子体的一个关键；通过采用朗缪双探针法对圆柱形射频感应耦合等离子体(Inductively coupled plasma,ICP)放电装置在不同放电条件下的等离子体参量进行了诊断；并分析了气压、气体组分、功率以及掺Hg等放电参数对等离子体的电子密度和电子温度的变化规律的影响。实验结果表明：电子密度在30-90Pa之间随气压的增加而增大,当气压大于90Pa时,电子密度随气压的增加而减小；且电子温度随气压的增加而逐渐降低。
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Year： 2016
Page： 1-1
Language： Chinese
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