Abstract：
采用脉冲激光沉积技术在石英基片上制备了ZnS:Co薄膜，改变制备过程中石英基片的温度TS，研究了基片温度对薄膜微结构及光学特性的影响。随着基片温度的升高，薄膜的厚度减小，结晶质量得到提升，并朝着（111）方向择优生长。受量子限域效应的影响，薄膜的光学带隙在基片温度为TS=25℃时最大为3.83 eV，光学带隙先随基片温度增大而减小，并在基片温度为400℃时取得最小值3.5 eV，此后随基片温度增大而增大。此外，薄膜的折射率、消光系数、介电系数等光学参数随基片温度升高均有增大趋势。实验表明在基片温度达到400℃以上时，可以获得综合性能较好的微晶薄膜。
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Source ：
真空科学与技术学报
Year： 2023
Issue： 09
Volume： 43
Page： 738-744
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