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本发明提供一种透射电镜用原位拉伸样品保护装置及其制备方法,包括设置在MEMS力学芯片上的第一搭载侧、第二搭载侧,还包括第一拉伸辅助件、第二拉伸辅助件和载物件;第一拉伸辅助件连接MEMS力学芯片的第一搭载侧,载物件两端分别连接第二拉伸辅助件和第二搭载侧;第一拉伸辅助件与第二拉伸辅助件相嵌套成勾套结构。本发明通过在MEMS力学芯片上搭载原料块,然后切割,得到第一拉伸辅助件、第二拉伸辅助件以及载物件,并且保证第一拉伸辅助件嵌套于第二拉伸辅助件内部,形成勾套结构,由于形成了载物件,使得整个勾套自由选材,可对一维、二维材料及块状材料拉伸;设置载物件,可有效防止样品在拉伸断裂后掉落,避免透射电镜被污染。
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Patent Info :
Type: 发明申请
Patent No.: CN202210674942.2
Filing Date: 2022-06-14
Publication Date: 2022-09-13
Pub. No.: CN115046825A
Applicants: 北京工业大学
Legal Status: 实质审查
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