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本实用新型提供了一种适用于低温长波红外探测器的微透镜阵列，属于半导体器件领域。包括增透膜、微透镜阵列和底面，该微透镜阵列填充因子为100％，红外探测器焦平面光能利用率80％以上。进而将该微透镜阵列应用于红外探测器前端，提高整体器件的灵敏度。
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Type： 实用新型
Patent No.： CN202120801917.7
Filing Date： 2021-04-19
Publication Date： 2021-10-01
Pub. No.： CN214336716U
Applicants： 北京工业大学
Legal Status： 授权
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