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本发明涉及一种ZnO纳米线紫外探测器在N2气氛中的封装方法，涉及紫外探测技术和封装领域。 具体地说， 一种用于在N[2]气氛中用固定金属管座和带窗口的管帽封装ZnO纳米线紫外探测器的集成电路一次金属封装， 同时采用储能焊接工艺和改性溶液，保证了ZnO纳米线紫外探测器的高增益特性和封装器件的整体稳定性。 3-3/5将ZnO探测器固定在金属基板上，清洗金属基板，用能量改性Te封装金属管帽--管基板，金属导电器件储存焊接管基板胶，压焊工艺过程见图3。 本发明公开了一种N2气氛下ZnO纳米线紫外探测器封装工艺的流程图
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Type： 实用新型
Patent No.： AU2020103402
Filing Date： 2020-11-11
Publication Date： 2021-01-28
Pub. No.： AU2020103402A4
Applicants： Beijing University Of Technology
Legal Status： 授权
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