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一种微波载流子直接调制的垂直腔面发射激光器，属于激光器技术领域。自下而上层叠，层依次包括衬底(1)、缓冲层(2)、下分布布拉格反射镜(3)、下相位匹配层(4)、亚集电极层(5)、集电极层(6)、基极及量子阱有源区层(7)、发射极层(8)、上相位匹配层(9)、氧化限制层(10)、上分布布拉格反射镜层(11)。本发明提供的微波载流子直接调制的垂直腔面发射激光器，将VCSEL的优异光学性能与异质结晶体管的高速电学性能相结合，可以应用在光学互联和OEIC等领域。
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Type： 发明申请
Patent No.： CN202010976273.5
Filing Date： 2020-09-15
Publication Date： 2020-12-29
Pub. No.： CN112152068A
Applicants： 北京工业大学
Legal Status： 驳回
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