Indexed by：
Abstract：
一种微波烧结阴极覆膜用靶材的制备方法，属于合金靶材制备技术领域。采用亚微米锇粉为原料利用微波烧结，以碳化硅、氧化锆作为辅助加热材料，氧化铝作为保温材料，升温速率在20‑30min/℃之间，整个烧结过程的功率都在2Kw以下。微波烧结升温速度快，在较短时间内可以升到较高的温度。微波与生坯耦合，整体加热，可以有效控制烧结坯晶粒长大并大大缩短烧烧结时间，获得相对较高致密度的细晶靶材。在微波烧结1500℃，保温60min下，获得的靶材样品致密度达到94％以上，晶粒尺寸在2μm左右。
Keyword：
Reprint Author's Address：
Email：
Patent Info ：
Type： 发明申请
Patent No.： CN202010451953.5
Filing Date： 2020-05-25
Publication Date： 2020-08-21
Pub. No.： CN111560590A
Applicants： 北京工业大学
Legal Status： 驳回
Cited Count：
WoS CC Cited Count： 0
SCOPUS Cited Count：
ESI Highly Cited Papers on the List： 0 Unfold All
WanFang Cited Count：
Chinese Cited Count：
30 Days PV： 1
Affiliated Colleges：
