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本发明公开了一种混合驱动非对称微定位机构，该机构包括机架、步进电机、联轴器、滑轨、滚珠丝杠、压电陶瓷驱动器、桥式位移放大器、动平台以及连接滚丝杠与动平台的三个分支。第一分支宏观驱动部分，移动副与滚珠丝杆连接，滚珠丝杠通过滑轨与机架连接，万向铰与动平台连接，移动副与万向铰通过转动副连接；第一分支微观驱动部分，将桥式放大器放置在分支一转动副与万向铰之间，采用压电陶瓷驱动器进行驱动。第一分支万向铰第一转动副与转动副轴线平行，其余两个分支布置形式与第一分支相同。该机构分支结构简单，三分支完全相同，分支加工采用一体化加工，无间隙，精度高，能够同时满足大行程和高精度的要求，实现纳米级定位。
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Type： 发明申请
Patent No.： CN201910681447.2
Filing Date： 2019-07-26
Publication Date： 2019-11-22
Pub. No.： CN110480535A
Applicants： 北京工业大学
Legal Status： 驳回
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