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本文公开了一种用于模拟扫描电镜真空环境的高温测试装置，测试在高、低真空环境及大气环境(10‑5～105Pa)下，目标点的温度分布，并可测试施加热防护措施后对目标测试点温度降低的效果，测温范围为‑40～1600℃。该测温装置包括：真空室及真空装置，热电偶测温组件，电极法兰组件，支撑法兰组件，加热台装置，及热防护挡板。本装置结构设计简单，测温精度高，测温范围广，适用于测试不同类型扫描电镜及真空设备中的温度分布。
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Type： 发明授权
Patent No.： CN201510488027.4
Filing Date： 2015-08-10
Publication Date： 2018-03-16
Pub. No.： CN105043572B
Applicants： 北京工业大学
Legal Status： 未缴年费 ; 一案双申
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