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本发明提供一种在碱溶液中利用飞秒激光制备黑硅的方法，其包括以下步骤：步骤1，在温度为22±1℃的条件下，配制质量百分比为2wt％的碱溶液；步骤2，将抛光硅片放入步骤1配置的所述碱溶液；步骤3，用飞秒激光脉冲对所述碱溶液中放入的所述抛光硅片进行扫描处理，获得黑硅。本发明的在碱溶液中利用飞秒激光制备黑硅的方法不需要使用真空设备，节省了成本，而且避免了六氟化硫和硫化氢等含硫元素的危险气体产生。而且制备过程简单易操作，使用的是2wt％的碱溶液，浓度低、成本低廉，几乎不会对环境和人体产生危害，安全性高。
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Type： 发明授权
Patent No.： CN201410284079.5
Filing Date： 2014-06-23
Publication Date： 2017-02-01
Pub. No.： CN104022190B
Applicants： 北京工业大学
Legal Status： 未缴年费
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