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一种准分子激光整形均束装置，属于激光加工及其应用技术领域。包括依次布置的第一微透镜阵列(1), 第二透微镜阵列(2)，球面傅立叶透镜(3)，聚焦靶面(4)，所述的第一微透镜阵列(1)、第二透微镜阵列(2)、球面傅立叶透镜(3)、聚焦靶面(4)固定在在滑动机械槽(5)内。该装置具有同时对准分子激光进行整形和均束的能力，可以很大的扩展准分子激光的应用领域。
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Type： 实用新型
Patent No.： CN201220748699.6
Filing Date： 2012-12-30
Publication Date： 2013-08-21
Pub. No.： CN203149208U
Applicants： 北京工业大学
Legal Status： 期限届满
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