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本发明涉及低维纳米材料显微结构与电学性能的测试装置和方法。该装置在衬底的上方是非晶层,下方是阻挡层,阻挡层和衬底的中间部分被刻蚀掉形成窗口,在非晶层上是金属电极,金属电极之间是低维纳米材料,低维纳米材料位于非晶层上对着窗口的正上方,低维纳米材料上是非晶阻挡层,金属电极上引出导线。本发明提供了一种转移、固定低维纳米材料的方法,可以同时对低维纳米材料进行通电测量,可以在原子点阵分辨率下,原位地测量低维纳米材料的显微结构与电学性能的相关性。
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Patent Info :
Type: 发明授权
Patent No.: CN200910084260.0
Filing Date: 2009-05-15
Publication Date: 2012-08-22
Pub. No.: CN101545872B
Applicants: 北京工业大学
Legal Status: 未缴年费
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