Indexed by：
Abstract：
一种利用同步移相干涉方法获得光学相位的方法和实现光路，涉及动态检测波面信息的方法和装置。本发明采用半透半反棱镜、偏振分光棱镜对光源进行六分束，同时结合偏振干涉的方法在空域一次采集到六幅同步移相干涉条纹图，这六幅干涉条纹分别成像于六只CCD靶面上。对六幅干涉条纹图进行分析就可以得出测试波面的形状。由于振动的影响对同步移相干涉条纹图的影响是一致的，通过移相算法中相减相除的方法就可以消除振动的影响，这样就实现了适应更多工作环境的高精度波面测量，并且不需要在每次测量前进行PZT线性校正。并且本发明的方法简单，原理清晰，光路中各部件容易获得，整个装置紧凑，易于使用。
Keyword：
Reprint Author's Address：
Email：
Patent Info ：
Type： 发明授权
Patent No.： CN201010034450.4
Filing Date： 2010-01-21
Publication Date： 2011-06-08
Pub. No.： CN101776488B
Applicants： 北京工业大学
Legal Status： 未缴年费 ; 许可
Cited Count：
WoS CC Cited Count： 0
SCOPUS Cited Count：
ESI Highly Cited Papers on the List： 0 Unfold All
WanFang Cited Count：
Chinese Cited Count：
30 Days PV： 4
Affiliated Colleges：
