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本发明是一种利用脉冲激光精确控制曝光时间的方法，用于微细加工技 术领域。在曝光加工领域中随着对加工精度的要求不断提高，对曝光时间或 曝光剂量的控制要求越来越高，传统的机械快门控制曝光时间或者曝光剂量 的方法很难满足对极小曝光剂量的要求。本发明利用脉冲激光进行曝光时间 的控制，使得对曝光时间的控制精确到了飞秒量级，结合多脉冲技术可以实 现从飞秒量级到秒量级的曝光时间的精确控制。
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Type： 发明申请
Patent No.： CN200810224500.8
Filing Date： 2008-10-17
Publication Date： 2009-03-11
Pub. No.： CN101382741A
Applicants： 北京工业大学
Legal Status： 撤回-视为撤回
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