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本发明中涉及一种环境扫描电镜中电荷环境的 测量方法。该方法中采用一个高灵敏度的微小电流测试仪表 (pA－表)和计算机，测量在电子束辐照下，在法拉第杯中，以 及金属、半导体和绝缘体中的样品电流 (ISC)，即空间电荷电流 (ISP)，确定环境扫描电镜(ESEM) 样品室中气体压力、气体离子化效率、离子化饱和度，以及气 体对电子的散射率等。以此评价ESEM样品室内由电子流和离 子流所控制的电荷环境，优化ESEM的成像条件，包括环境参 数(压力、气氛、湿度)，以及操作参数(加速电压、工作距离等)， 研究荷电补偿条件及荷电动态平衡条件，以获得高质量的图 像。
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Type： 发明申请
Patent No.： CN200610089512.5
Filing Date： 2006-06-30
Publication Date： 2006-12-06
Pub. No.： CN1873400A
Applicants： 北京工业大学
Legal Status： 撤回-视为撤回
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