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高效大功率多波长隧道级联多有源区垂直腔面 发射激光器，属半导体光电子领域，如图所示，包括有上分布 布拉格反射镜(1)，下分布布拉格反射镜(6)，衬底(7)，特征在 于还包括在上、下分布布拉格反射镜(1)和(6)之间的N个重复 排列的有源区部分(8)和N－1个反向隧道结(5)的重复结构构成 大有源区部分(10)，其中N是传统的有源区部分(8)的在本发明 的垂直腔面发射激光器的数目，其中有源区部分(8)p型限制层 (2)、增益区(3)、n型限制层(4)构成。解决了统垂直腔面发射激 光器材料生长和器件制备的工艺难度，成本高，成品率低，且 随有源区体积减小，效率下降，，以及激射波长为单一波长， 无法在同一只器件中获得多个波长。
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Type： 发明申请
Patent No.： CN200410069251.1
Filing Date： 2004-07-16
Publication Date： 2005-03-02
Pub. No.： CN1588717A
Applicants： 北京工业大学
Legal Status： 撤回-视为撤回
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