Abstract：
＜正＞光刻机在工作时会受到外部振动的干扰以及自身运动所产生的干扰,这些干扰对光刻机的精度产生了严重的影响,因此需要采取隔振措施。本文设计了一种新型变刚度阻尼轴承减振器,采用新型功能梯度材料实现结构刚度和阻尼随温度的变化,建立了轴承减振结构的动力学方程,使用传递矩阵法得出了新型转子轴承系统的动力学特性,
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Year： 2023
Language： Chinese
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