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本发明涉及一种可调谐垂直腔面发射激光器结构，其包括：垂直腔面发射激光器单元；与垂直腔面发射激光器单元接合的微机电系统装置；设置在垂直腔面发射激光器单元与微机电系统装置之间的可独立控制的压电材料结构；以及与垂直腔面发射激光器单元和微机电系统装置连接的控制单元，控制单元通过控制施加到压电材料结构的电压来调节垂直腔面发射激光器单元与微机电系统装置之间的位移和角度。本发明所述的可调谐垂直腔面发射激光器结构在功能上与现有技术的区别在于具有同轴平行控制以及双向驱动，在结构上区别于现有技术的最大特征就是在键合区域引入多个独立控制的压电材料结构，从而实现空气间隙的初步调节以及整体光源器件的同轴效果。
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Type： 发明申请
Patent No.： CN202310865640.8
Filing Date： 2023-07-14
Publication Date： 2023-10-27
Pub. No.： CN116960732A
Applicants： 北京工业大学
Legal Status： 实质审查
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