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电介质表面金属功能图案技术研究进展
期刊论文 | 2025 , 68 (1) , 22-35 | 航空制造技术
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Abstract :

电介质表面金属功能图案在航空航天、消费电子、柔性传感等领域的需求日益增长.激光加工作为一种无需掩膜的柔性制造技术,具有加工精度高、非接触式加工、制造效率高等优点,可以在多种电介质表面实现金属功能图案的直接制造,近年来发展迅速.按照自上而下和自下而上的技术路线,分别概述激光刻蚀、选择性激光烧结、脉冲激光沉积、激光诱导化学液相沉积、激光诱导化学气相沉积、激光辅助化学镀 6 种激光加工技术的原理和优势,及它们在电介质表面加工金属功能图案的最新研究进展,并总结相应的技术瓶颈和未来发展趋势.

Keyword :

金属功能图案 激光诱导化学液相沉积(LCLD) 激光加工 选择性激光烧结(SLS) 脉冲激光沉积(PLD) 激光刻蚀 激光辅助化学镀(LEP) 激光诱导化学气相沉积(LCVD)

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GB/T 7714 肖荣诗 , 魏佳硕 , 崔梦雅 et al. 电介质表面金属功能图案技术研究进展 [J]. | 航空制造技术 , 2025 , 68 (1) : 22-35 .
MLA 肖荣诗 et al. "电介质表面金属功能图案技术研究进展" . | 航空制造技术 68 . 1 (2025) : 22-35 .
APA 肖荣诗 , 魏佳硕 , 崔梦雅 , 黄婷 . 电介质表面金属功能图案技术研究进展 . | 航空制造技术 , 2025 , 68 (1) , 22-35 .
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一种用于透明材料低热损伤激光剥离与切割的装置与方法 zhihuiya
专利 | 2024-12-18 | CN202411872261.2
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Abstract :

本发明公开了一种用于透明材料低热损伤激光剥离与切割的装置与方法,该装置包括:激光器以及沿激光传输方向依次设置的第一半波片、线偏振片、扩束镜、第二半波片、涡旋波片和加工物镜,加工物镜的出光入射至加工材料上,加工材料被吸附固定在冷却吸盘上,冷却吸盘安装在三维移动平台上。本发明将偏振调制后的光通过物镜聚焦到材料内部进行改质,随着三维平台的移动,形成完整的改质层,采用该装置与方法进行剥离与切割具有低热损伤、高精度的优点,能够降低激光加工过程带来的材料损耗。

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GB/T 7714 王旭葆 , 孙梦萍 , 赵树森 et al. 一种用于透明材料低热损伤激光剥离与切割的装置与方法 : CN202411872261.2[P]. | 2024-12-18 .
MLA 王旭葆 et al. "一种用于透明材料低热损伤激光剥离与切割的装置与方法" : CN202411872261.2. | 2024-12-18 .
APA 王旭葆 , 孙梦萍 , 赵树森 , 林学春 . 一种用于透明材料低热损伤激光剥离与切割的装置与方法 : CN202411872261.2. | 2024-12-18 .
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智能制造专业先进制造工艺课程建设与教学实践
期刊论文 | 2024 , (3) , 107-110 | 科教导刊
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Abstract :

在半导体、航空航天等新兴产业推动下,智能制造专业先进制造课程的地位越来越重要.为此,文章从教学理念与目标、知识结构和教学实践三个方面,讨论本课程建设与教学实践.课程教学理念以新兴产业发展人才需求为导向,培养学生的创新能力、实践能力和国际化视野.课程知识结构以工程应用和工艺创新为导向,覆盖了超精密切削、激光加工、增材制造等先进制造工艺.课程教学采用问题导向法、创新实践和案例分析法,以半导体芯片制造案例分析为主线,贯穿课程大纲的各个知识点.

Keyword :

课程建设 新工科 教学实践 智能制造专业

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GB/T 7714 高鹏 , 昝涛 , 项俊锋 et al. 智能制造专业先进制造工艺课程建设与教学实践 [J]. | 科教导刊 , 2024 , (3) : 107-110 .
MLA 高鹏 et al. "智能制造专业先进制造工艺课程建设与教学实践" . | 科教导刊 3 (2024) : 107-110 .
APA 高鹏 , 昝涛 , 项俊锋 , 付中涛 . 智能制造专业先进制造工艺课程建设与教学实践 . | 科教导刊 , 2024 , (3) , 107-110 .
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第十九届北京激光技术前沿论坛笔谈
期刊论文 | 2024 , (07) , 1-8 | 北京工业大学学报
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Abstract :

<正>2023年10月27日第十九届北京激光技术前沿论坛在北京工业大学知新园学术报告厅隆重开幕,本次学术论坛由北京光学学会与中国光学光电子行业协会、中国光学学会激光加工专业委员会、固体激光技术重点实验室、北京工业大学科协、北京工业大学理学部联合主办,旨在把握激光技术发展前沿和热点、共享研究成果,促进我国激光光电子技术的科技创新与合作,为与会者搭建高水平交流平台。本刊从论坛选取了北京工业大学黄婷研究员、中国科学院空天信息创新研究院李捷研究员、中国电子科技集团公司第十一研究所眭晓林研究员的分享报告整理为笔谈,以飨读者。

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GB/T 7714 黄婷 , 李捷 , 眭晓林 . 第十九届北京激光技术前沿论坛笔谈 [J]. | 北京工业大学学报 , 2024 , (07) : 1-8 .
MLA 黄婷 et al. "第十九届北京激光技术前沿论坛笔谈" . | 北京工业大学学报 07 (2024) : 1-8 .
APA 黄婷 , 李捷 , 眭晓林 . 第十九届北京激光技术前沿论坛笔谈 . | 北京工业大学学报 , 2024 , (07) , 1-8 .
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激光技术前沿笔谈:从阿秒到纳秒——跨越时间尺度的脉冲激光的产生、发展及在大科学装置中的应用
期刊论文 | 2024 , 50 (07) , 897-904 | 北京工业大学学报
Abstract & Keyword Cite

Abstract :

<正>2023年10月27日第十九届北京激光技术前沿论坛在北京工业大学知新园学术报告厅隆重开幕,本次学术论坛由北京光学学会与中国光学光电子行业协会、中国光学学会激光加工专业委员会、固体激光技术重点实验室、北京工业大学科协、北京工业大学理学部联合主办,旨在把握激光技术发展前沿和热点、共享研究成果,促进我国激光光电子技术的科技创新与合作,为与会者搭建高水平交流平台。本刊从论坛选取了北京工业大学黄婷研究员、中国科学院空天信息创新研究院李捷研究员、中国电子科技集团公司第十一研究所眭晓林研究员的分享报告整理为笔谈,以飨读者。

Cite:

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GB/T 7714 黄婷 , 李捷 , 眭晓林 . 激光技术前沿笔谈:从阿秒到纳秒——跨越时间尺度的脉冲激光的产生、发展及在大科学装置中的应用 [J]. | 北京工业大学学报 , 2024 , 50 (07) : 897-904 .
MLA 黄婷 et al. "激光技术前沿笔谈:从阿秒到纳秒——跨越时间尺度的脉冲激光的产生、发展及在大科学装置中的应用" . | 北京工业大学学报 50 . 07 (2024) : 897-904 .
APA 黄婷 , 李捷 , 眭晓林 . 激光技术前沿笔谈:从阿秒到纳秒——跨越时间尺度的脉冲激光的产生、发展及在大科学装置中的应用 . | 北京工业大学学报 , 2024 , 50 (07) , 897-904 .
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表面凹凸微织构增强磁控溅射MoS2薄膜润滑性能研究
期刊论文 | 2024 , 39 (3) , 39-47 | 中国钨业
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Abstract :

轴承钢的表面形貌对其摩擦磨损性能有很大影响,本文采用激光加工技术对GCr15轴承钢进行表面织构化处理,系统研究了织构类型、织构密度及载荷对MoS2薄膜润滑性能的影响规律.研究表明,MoS2薄膜在凹凸微织构表面的润滑寿命(556 min)显著高于凹孔微织构表面(39 min)和光滑表面(46 min),并在30 N的外加载荷下呈现出超低的摩擦系数(0.064).分析发现凹凸微织构中的微凸结构在被磨球挤压后会与MoS2一起存储于相邻微孔中,进而在后续摩擦过程中持续释放润滑材料,显著延长润滑寿命.此外,相对于高织构密度,低织构密度会更有利于MoS2润滑效果的提升.本研究的开展对于提升MoS2固体润滑材料的使用效能具有积极意义.

Keyword :

表面织构 摩擦学特性 MoS2薄膜 固体润滑

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GB/T 7714 刘悦 , 吴振江 , 黄俊奇 et al. 表面凹凸微织构增强磁控溅射MoS2薄膜润滑性能研究 [J]. | 中国钨业 , 2024 , 39 (3) : 39-47 .
MLA 刘悦 et al. "表面凹凸微织构增强磁控溅射MoS2薄膜润滑性能研究" . | 中国钨业 39 . 3 (2024) : 39-47 .
APA 刘悦 , 吴振江 , 黄俊奇 , 马捷 , 李洪义 , 陈树群 . 表面凹凸微织构增强磁控溅射MoS2薄膜润滑性能研究 . | 中国钨业 , 2024 , 39 (3) , 39-47 .
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单晶LaB6微尖阵列的飞秒及场发射性能
会议论文 | 2024 | 第二十二届真空电子学学术年会
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Abstract :

利用COMSOL Multiphysics有限元软件对LaB6微尖阵列的场屏蔽效应进行模拟,揭示了场屏蔽效应与微尖间距的关系,发现当微尖间距大于8倍微尖高度时,阵列的总发射电流最大,为LaB6微尖阵列设计提供了理论依据。采用飞秒激光技术实现了在单晶LaB6块体(100)晶面进行微尖阵列微结构的可控加工,其工艺参数为:激光功率Fs=0.01%,样品移动速度为20 mm/min,划线间隔为4-8μm,刻槽重复次数为8次,加工过程加半径2mm孔光阑,并吹氩气保护。飞秒激光制备单晶LaB6FEAs具有均匀的形貌和表面纳米结构,微尖曲率半径可以控制在0.5-3μm之间,微尖间距约为高度的1.5倍,曲率半径0.5μm的单晶LaB6 FEAs具有最佳的场发射性能,其启动电场为2.2 V/μm,在8.0 V/μm电场下发射电流密度为1.0 A/cm

Keyword :

微尖阵列 LaB6单晶 飞秒激光 场发射性能 有限元分析

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GB/T 7714 张忻 , 刘楠 , 闫龙 et al. 单晶LaB6微尖阵列的飞秒及场发射性能 [C] //第二十二届真空电子学学术年会 . 2024 .
MLA 张忻 et al. "单晶LaB6微尖阵列的飞秒及场发射性能" 第二十二届真空电子学学术年会 . (2024) .
APA 张忻 , 刘楠 , 闫龙 , 王一凡 . 单晶LaB6微尖阵列的飞秒及场发射性能 第二十二届真空电子学学术年会 . (2024) .
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一种采用纳秒激光技术制备超疏水银表面的方法 zhihuiya
专利 | 2024-03-26 | CN202410354305.6
Abstract & Keyword Cite

Abstract :

一种采用纳秒激光技术制备超疏水银表面的方法,涉及贵金属表面腐蚀与防护的技术领域。包括:搭建纳秒激光加工系统;待加工银样品表面预处理;将预处理后的待加工银样品固定在样品台上,通过控制系统选定加工区域,控制纳秒激光对获得聚焦焦点的所述样品表面进行X方向和Y方向的激光扫描加工,获得具有微孔结构阵列的银样品;对激光加工后的样品进行硅烷化处理,获得具有优良疏水性能的银样品表面。本发明提供的制备超疏水银表面的方法中:纳秒激光加工具有加工精度高、可控性强、无需真空高压、环境友好等特点;硅烷化处理能够降低银样品的表面能,从而进一步提高其表面的疏水性能,得到具有超疏水功能的银表面。

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GB/T 7714 王毅 , 梁翔宇 , 鲁大江 et al. 一种采用纳秒激光技术制备超疏水银表面的方法 : CN202410354305.6[P]. | 2024-03-26 .
MLA 王毅 et al. "一种采用纳秒激光技术制备超疏水银表面的方法" : CN202410354305.6. | 2024-03-26 .
APA 王毅 , 梁翔宇 , 鲁大江 , 牛新焕 , 潘怿 . 一种采用纳秒激光技术制备超疏水银表面的方法 : CN202410354305.6. | 2024-03-26 .
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一种晶圆减薄同步激光改性的加工装置和方法 zhihuiya
专利 | 2023-11-16 | CN202311525738.5
Abstract & Keyword Cite

Abstract :

本发明属于晶圆加工技术领域,公开了一种晶圆减薄同步激光改性的加工装置,包括:第一驱动组件,第一驱动组件上设置有真空自旋转磨削台,真空自旋转磨削台上用于放置晶圆;第二驱动组件上设置有砂轮,砂轮位于晶圆一侧上方;第三驱动组件上设置有手动驱动组件,第三驱动组件上设置有激光加工系统,激光加工系统位于晶圆远离砂轮的一侧,激光加工系统用于按照砂轮外缘轮廓和回转速度对晶圆表面进行刻蚀,以使得晶圆表面改性,本发明减少了砂轮的磨损,提高了减薄的效率和加工的成本,减小加工表面粗糙度,磨削损伤以及亚表面损伤深度。

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GB/T 7714 陈沛 , 吴坤洲 , 秦飞 et al. 一种晶圆减薄同步激光改性的加工装置和方法 : CN202311525738.5[P]. | 2023-11-16 .
MLA 陈沛 et al. "一种晶圆减薄同步激光改性的加工装置和方法" : CN202311525738.5. | 2023-11-16 .
APA 陈沛 , 吴坤洲 , 秦飞 , 安彤 , 代岩伟 , 王振 . 一种晶圆减薄同步激光改性的加工装置和方法 : CN202311525738.5. | 2023-11-16 .
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一种水导激光耦合装置 zhihuiya
专利 | 2024-05-29 | CN202410678141.2
Abstract & Keyword Cite

Abstract :

本发明涉及水导激光加工设备技术领域,公开了一种水导激光耦合装置,包括:外壳体,外壳体侧壁上开设有高压水入口以及荷电水雾入口,外壳体内部设置有与高压水入口相连通有水流出口、与荷电水雾入口相连通的水雾出口,水流出口上设置有喷嘴;第一支架内设置有流通通道,流通通道与水雾出口同轴设置,流通通道的两端分别设置有同轴的上电极环和下电极环;第二支架设置在外壳体内,第二支架内形成有激光入射仓,第二支架底部设置有与激光入射仓相对应的玻璃窗口,本发明能够形成稳定的荷电水雾保护气幕,实现了水射流稳定性的增强和水射流水束光纤稳定长度的增长,使得水导激光设备的加工范围得到扩大,加工质量得到提升。

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GB/T 7714 聂松林 , 吝路炎 , 纪辉 et al. 一种水导激光耦合装置 : CN202410678141.2[P]. | 2024-05-29 .
MLA 聂松林 et al. "一种水导激光耦合装置" : CN202410678141.2. | 2024-05-29 .
APA 聂松林 , 吝路炎 , 纪辉 , 吴锐 , 尹方龙 . 一种水导激光耦合装置 : CN202410678141.2. | 2024-05-29 .
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