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田英良 (田英良.) | 胡春明 (胡春明.) | 张广涛 (张广涛.) | 王为 (王为.) | 陈鑫鑫 (陈鑫鑫.) | 李俊杰 (李俊杰.)

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CQVIP PKU CSCD

Abstract:

随着显示行业高端消费品的发展要求,LTPS成为目前显示领域炙手可热的先进技术,但是由于国外技术封锁,国内全部依赖进口,因而我们必须自主研发,提升综合竞争力。本文基于平板显示最新发展动态和研发热点,综述了高分辨率LCD/OLED显示产品所用LTPS制程工艺种类与特点,以及LTPS制程工艺对玻璃基板的理化性能要求,其中,玻璃基板耐热性、热膨胀系数、紫外透过率、弹性模量是十分关键的技术指标;论述了溢流法生产工艺和浮法生产工艺所生产的LTPS玻璃基板的优势与劣势;总结了美国和日本开发满足LTPS制程工艺的玻璃基板产品状况;讲述了我国尚未形成技术和产业突破,亟须加大对LTPS制程工艺的玻璃基板的研发投入...

Keyword:

液晶显示/有机发光显示(LCD/OLED) 热学性能 玻璃基板 低温多晶硅(LTPS) 制程工艺

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  • [ 1 ] 北京工业大学材料科学与工程学院
  • [ 2 ] 中国光学光电子行业协会液晶分会
  • [ 3 ] 东旭集团有限公司技术中心

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材料导报

Year: 2018

Issue: S2

Volume: 32

Page: 73-79

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