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孙成东秀 (孙成东秀.) | 马晋遥 (马晋遥.) | 杨丽珍 (杨丽珍.) | 陈强 (陈强.) | 张跃飞 (张跃飞.) (Scholars:张跃飞)

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Abstract:

本文使用原子层沉积技术以及模板法制备了厚度、成分和结构精确可控的氧化铝纳米管,结合SEM、TEM、SAED和XPS分析,可知所得为非晶态氧化铝纳米管状结构且薄膜致密无针孔,沉积速率为0.11 nm/cycle,实现了纳米管壁厚在纳米尺度精确可控制备。进一步使用自主设计的SEM/SPM(扫描电子显微镜/扫描探针显微镜)联合测试系统,对氧化铝纳米管进行了原位三点弯曲实验研究。结果表明外半径在50 nm左右的氧化铝纳米管的杨氏模量范围在400~600 GPa之间,且杨氏模量值随着纳米管壁厚的增大而递减。

Keyword:

原子层沉积 杨氏模量 SEM/SPM联合测试系统 氧化铝纳米管 三点弯曲

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  • [ 1 ] 北京印刷学院等离子体物理及材料研究室
  • [ 2 ] 北京工业大学固体微结构与性能研究所

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Source :

电子显微学报

Year: 2018

Issue: 01

Volume: 37

Page: 1-7

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