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采用热蒸镀法,在石英基底上制备了不同化学组分的GexAsySe1-x-y,硫系玻璃薄膜,并对其拉曼光谱进行测量,旨在分析化学组分对薄膜内部结构的影响.分析了波数位于100～350 cm-1范围内薄膜拉曼光谱的演变,用高斯曲线对拉曼光谱进行分峰拟合.结果表明,样品在190 cm-1处Ge-Se振动模式随着Ge和As含量的增加而变强;随着平均配位数(MCN)的增加,As-Se振动模式减弱,位于225 cm-1和250 cm-1处的两个拉曼峰逐渐合并,并向高波数区域延伸;在Ge含量高的样品中,170～180 cm-1处的拉曼峰是由薄膜内部键缺陷造成的.
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激光与光电子学进展
ISSN： 1006-4125
Year： 2016
Issue： 2
Volume： 53
Page： 250-255
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