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赵豹 (赵豹.) | 贾云鹏 (贾云鹏.) | 吴郁 (吴郁.) | 胡冬青 (胡冬青.) | 周璇 (周璇.) | 李哲 (李哲.) | 谭健 (谭健.)

Indexed by:

CQVIP PKU CSCD

Abstract:

寿命控制技术是现在广泛使用的方法,该方法旨在减少快恢复二极管(FRD)基区载流子寿命从而实现更小的反向恢复时间,同时不可避免地引起其他性能的变化。通过高能电子辐照和扩铂对1 200 V FRD进行了寿命控制,并对铂扩散和电子辐照样品在正向压降温度特性、静态和反向恢复特性等方面进行了对比分析,发现铂扩散样品随扩铂温度的增加,其击穿电压变大;高能电子辐照器件呈现电压正温度系数,其正向压降和反向恢复时间(VF-trr)折中曲线更靠近原点。实验结果表明,高能电子辐照样品具有更好的温度系数、更好的VF-trr折中特性,然而反向电流在125℃却高达约210μA。

Keyword:

寿命控制 扩铂 深能级瞬态谱(DLTS) 快恢复二极管(FRD) 电子辐照

Author Community:

  • [ 1 ] 北京工业大学电子信息与控制工程学院

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Source :

半导体技术

Year: 2016

Issue: 01

Volume: 41

Page: 37-41

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