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长光栅传感器的静态精度的检测方法较为成熟,而其动态精度的检测尚没有一个有效的解决办法.针对此问题,研制了一种以高精度光栅尺为基准的长光栅动态误差检测系统.仪器主要由机械系统、测控系统、软件系统组成,通过在有效行程上与高精度光栅对比获得被测光栅的误差曲线.仪器采用直线电机驱动,保证了检测速度的要求,同时提高了长光栅传感器的检测效率.设计基于FPGA的双路光栅信号高速采集卡对光栅信号检测,解决了测量中同步触发问题及高速触发采样数据的处理问题.结果表明:本系统能够实现对光栅的动态精度的检测,检测效率高,适用于生产现场的大批量快速测量.
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北京工业大学学报
Year： 2016
Issue： 03
Volume： 42
Page： 321-328
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