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在不同的衬底温度下，使用反应射频磁控溅射法，在玻璃衬底上制备了氮化锌薄膜样品.用X 射线衍射仪、原子力显微镜和椭偏仪对薄膜的晶体结构、表面形貌、光学性质进行了表征分析.薄膜的晶粒尺寸会随着衬底温度的升高先增大后减小，在200C时薄膜的结晶性最好.用椭偏仪测试样品，建立物理模型计算出氮化锌薄膜在430-850 nm范围内的折射率和消光系数等光学参数.利用Tauc公式计算出氮化锌薄膜的光学带隙在1.73-1.79 eV之间.
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物理学报
ISSN： 1000-3290
Year： 2014
Issue： 13
Page： 137701-1-137701-8
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JCR@2022
ESI Discipline： PHYSICS;
ESI HC Threshold：202
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