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基于CMOS有源器件和传输线,提出了一款面积小、电感值大、品质因子(Q)高的超宽带可调有源电感电路拓扑.该有源电感利用CMOS有源器件级联反馈结构提供偏置,采用负阻补偿网络补偿有源电感正电阻损耗,增大了Q值,同时也实现了对有源电感器电感值的调谐.采用TSMC 0.35 μm CMOS工艺,设计并实现了有源电感的电路和版图.ADS仿真验证表明,在3.1～5.2GHz工作频率范围内,随外部偏置的不同,等效电感值的可调范围为1.65～4.06 nH(在3.1 GHz下)和0.06～40.9 nH(在5.2 GHz下),Q值最小达到1 002.9,面积仅为65×86(μm2).
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微电子学
ISSN： 1004-3365
Year： 2013
Issue： 6
Volume： 43
Page： 751-755
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