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利用微塑模技术和镀膜技术制作了一种双层聚合物悬臂梁,基于聚合物和金2种材料膨胀系数的差异,不同温度下梁的挠度不同,其形变可通过光杠杆放大由位置敏感探测器(PSD)进行检测.理论计算和实验结果表明:在聚合物悬臂梁处于玻璃态下,输出电压与温度呈线性关系.
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传感器与微系统
ISSN： 1000-9787
Year： 2013
Issue： 8
Volume： 32
Page： 60-62
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