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建立了制造用高功率激光器光束质量的评价体系与测量方法,研究了该体系所采用的评价参数、测量原理、测量方法、测量仪器以及测量结果的计算和分析方法。首先,对目前存在的评价激光光束质量的参数进行了比较和判断。接着,以光束传输比(M2)和光束参数积(Kf)为重点,阐述了光束质量评价参数与光束束宽定义之间的关系,提出了工业应用背景下光束质量的评价参数。最后,介绍了基于实测目的的光束质量测量方法和实际测量结果。测量结果显示,DC035Slab CO2激光器的Kf值为3.78 mm.mrad,TLF6000tCO2激光器的Kf值为8.67 mm.mrad,表明Kf值是评价制造用高功率激光器光束质量的较为合适的...
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光学精密工程
Year： 2011
Issue： 02
Volume： 19
Page： 297-303
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