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目前激光直写膜电阻时,所加入的辅料容易造成杂质污染,膜的厚度和粗糙度难以降低。为减少杂质污染,降低膜厚和表面粗糙度,改善激光直写微电路性能,进行了透射式激光直写金属薄膜电阻的实验研究,分析了薄膜线宽与激光光斑能量分布特点的关系,获得了线宽低于光斑直径的导电薄膜。实验表明,扫描速度的增加或离焦量的降低会导致光斑重叠率和导线宽度减小。同时,过高的功率会使薄膜受到烧蚀破坏,功率过低则难以将靶材充分熔化附着在玻璃基板上。相比之下,锌膜颗粒尺寸较为均匀,而Al/Zn混合膜的颗粒尺寸不一致。
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中国激光
Year： 2010
Issue： 12
Volume： 37
Page： 3196-3200
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