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本文分析了在环境扫描电镜中,Al2O3等非导电陶瓷样品的荷电效应和环境压力对X-射线能谱仪(EDS)元素分析造成的影响。研究了相应的补偿和校正方法。在高真空模式下,荷电效应使氧含量明显增加。采用低真空模式(LV)消除了荷电效应和减小了表面电势,因而减小了EDS的测量误差。在LV模式中采用X-射线压力限制光阑(PLA)杯,减小了电子束的裙散效应,使EDS的测量误差进一步减小。较高的压力环境增加了对电子束和低能X-射线的散射作用,使EDS的测量误差明显增加。
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真空科学与技术学报
Year： 2009
Issue： 01
Volume： 29
Page： 102-106
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