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给出了用蒙特卡罗射线追踪法模拟发光二极管(LED)光提取效率的过程,并对表面织构LED的光提取效率进行了模拟分析,得到存在一组优化的表面织构参数,可使LED的光提取效率提高36%.通过湿法腐蚀和干法刻蚀相结合工艺,制备了表面织构的红光LED,器件的轴向光强提高了20.6%.理论和实验结果,表明表面织构技术是提高LED光提取效率的一个主要途径.
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固体电子学研究与进展
ISSN： 1000-3819
Year： 2009
Issue： 2
Volume： 29
Page： 237-240
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