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本文介绍了一种新型电子冷却技术-微型电液动力泵的工作原理,并且运用了MEMS技术,在硅片上加工了梳状电极形式的微型电液动力泵.采用直流电压驱动对HFE7100进行了相关实验研究,取得良好效果.
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Source ：
工程热物理学报
ISSN： 0253-231X
Year： 2008
Issue： 10
Volume： 29
Page： 1743-1745
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