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利用等离子体增强热丝化学气相沉积制备了多壁碳纳米管,并测试了它的场电子发射性能,发现碳纳米管的场电子发射性能在测量过程中发生了变化.利用X射线能谱仪对碳纳米管进行了表征,结果表明氧吸附在碳纳米管上.氧的吸附导致了碳纳米管的功函数发生了变化,造成碳纳米管场电子发射性能不稳定.同时,本工作还分析了氢的吸附可能对碳纳米管场电子性能的影响.因此,本工作对碳纳米管在微电子领域的应用有一定的意义.
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微细加工技术
ISSN： 1003-8213
Year： 2008
Issue： 6
Page： 61-64
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