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设计了Michelson干涉型激光波长计干涉条纹的单片微机计数硬件电路,编写了8254计数和KeilC51波长运算程序.为提高仪器的测量精度,在硬件和软件上提出了新的设计方案.两个8254计数器可以在单片微机的控制下自动从参考光脉冲信号的下降沿开始对参考信号和被测信号同时计数;参考激光干涉条纹计数满1500000后,参考信号和被测信号的计数器可以同时被自动锁定;单片微机得到锁定信号后,完成两个计数值的读取、波长运算、10次移位平均和7位波长显示.对633nm和532nm两种稳频激光波长进行了实际测量,测量数据表明该计数系统使波长的测量精度达到2×10-7.
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纳米技术与精密工程
Year： 2007
Issue： 02
Page： 153-156
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