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利用脉冲激光沉积装置在钼筒上沉积镧氧膜,通过俄歇能谱仪确定其表面成分并进行定量分析,结合扫描电镜对薄膜进行形貌观察和能谱分析.实验结果表明,本方法制备的薄膜污染小,表面不同区域成分均匀分布,发射性能测量后薄膜均一性保持良好.综合实验证明激光沉积能够制备均一性良好的镧氧薄膜.
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Source ：
广西物理
ISSN： 1003-7551
Year： 2007
Issue： 2
Volume： 28
Page： 25-27
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